冷冻干燥机中使用的油旋转泵中的油会随着使用而变质。由于水分和溶剂的混合而引起的浓度、粘度和蒸气压的变化,以及由于发热而引起的变性,都会使内部密封性能恶化并影响极限压力。它还可能因生锈和污泥形成而导致机械故障。根据油的颜色和真空度的恶化情况,需要定期更换油。