如何选择最佳的紫外光源
为了制造高质量的产品,需要选择最佳的UV光源和UV照射设备来对光刻胶进行曝光。
辐照均匀度和功率
曝光光刻胶时,选择能够提供最均匀光线的紫外光源非常重要。光均匀性差会导致光刻胶图案形成不均匀。
另外,关于光输出,需要选择高输出的紫外光源。如果产量高,处理速度会较快,但如果产量低,处理时间会较长,这会极大地影响最终的吞吐量(生产数量)。另一方面,如果输出太高,可能会出现光刻胶起泡等问题。
因此,在选择紫外光源时,需要选择波长适合光刻胶的光源、能够照射均匀光线的光源以及能够调节到最佳输出的光源。