什么是紫外线（UV）曝光设备？

 曝光设备是将创建的电路图案数据印刷并图案化到称为晶圆的硅板上的装置。

这种图案生成技术和过程称为光刻或光刻。
将原板放置在平台上并暴露于紫外 (UV) 光下，该光穿过投影透镜并在半导体基板上形成电路图案的图像。
为了形成高精度的精细电路图案，优化光刻中的各个要素非常重要，例如选择光源和设计投影镜头。

诸如汞灯、KrF准分子激光器、ArF准分子激光器和EUV光源之类的光源可以用于曝光。